Katalog DTS



Modeling and Optimal Control of Chemical Mechanical Planarization

1. Person: Dürigen, Susan
Weitere Personen: Benner, Peter; Stöckgen, Uwe
Quelle: in: European Success Stories in Industrial Mathematics (Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2011), p. 76
Publikationstyp: Sonstiges
Veröffentlicht: 2011
Online: Volltext
Tags: Hinzufügen
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Gesamtwerk: European Success Stories in Industrial Mathematics

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